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北方华创两项产品荣获“第十二届中国半导体创新产品和技术项目”奖

4月12日,在南京召开的“2018中国半导体市场年会暨第七届集成电路产业创新大会”上,北方华创自主创新产品硅外延APCVD设备和US700流量计分别荣获“第十二届(2017年度)中国半导体创新产品和技术项目”奖。

硅外延APCVD设备应用于功率半导体和集成电路领域,兼容6吋和8吋硅外延片的生产,适用于厚度5-130um范围的N型和P型外延工艺,具有成膜均匀性好、产能高、兼容性好、自动化程度高、占地面积小等优点。

US700气体质量流量控制器是最新研制的数字产品,具有控制精度高、低工作压差等特性,适用于半导体离子注入工艺及其他相关集成电路制造工艺。

“中国半导体创新产品和技术项目”奖旨在鼓励半导体产业界的科技创新活动,评选活动由中国半导体行业协会、中国电子材料行业协会、中国电子专用设备工业协会和中国电子报社共同组织。北方华创荣获这项奖励,充分展示企业的技术创新实力和专业领域作出的突出成就。